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Wissenschaftlicher Artikel

Crystallographic Texture of Submicron Thin Aluminum Nitride Films on Molybdenum Electrode for Suspended Micro and Nanosystems


Erschienen in
ECS Journal of Solid State Science and Technology ,  2  (2013) , 4 , P180-P184 . https://doi.org/10.1149/2.001305jss
ISSN: 2162-8769
The Electrochemical Society

Bibliographische Angaben
Erscheinungsjahr: 2013
Sprache: englisch
Abstract

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